氯化氫

    一種四氯化硅加壓水解制備氯化氫的方法，該方法的工藝步驟為：
    （1）將氯化氫溶液與四氯化硅混合，然后進行水解反應，水解壓力為0.5～1.0MPa；
    （2）水解得到的反應液進行解析，得到壓力為0.3～0.5MPa的氯化氫氣體和混合液；
    （3）所述的混合液進行熱解析，得到壓力為0.3～0.5MPa的氯化氫氣體和和混合殘液。
    該方法水解過程產生的是壓力為0.3～0.5MPa的氯化氫氣體，將解析和熱解析得到的氯化氫氣體合并即可直接用于三氯氫硅的合成，從而省去了后續的高溫鹽酸解析過程，具有后續三氯氫硅合成過程簡單、成本低的特點。該方法工藝流程簡單，降低了成本，還能夠解決常規水解產生的大量鹽酸廢液問題。
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